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高純氮?dú)庵饕糜谥圃旄哔|(zhì)量的氮化物,這兒比較有代表性的氮化物有兩種:氮化鎵(GaN)和氮化硅(Si3N4),前者是制造發(fā)光二極管的基礎(chǔ),而后者廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池(光伏)、集成電路(IC)、液晶顯示器(LCD)的制造,可以說(shuō)高純氮?dú)馐钱?dāng)今電
154一部分企業(yè)沒有使用到高純氣體,以至于對(duì)它不了解,其實(shí)高純度氣體由管道輸送,能否將高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗(yàn)檢測(cè)合格?! 「呒儦怏w管道輸送管道,要根據(jù)工藝過(guò)程對(duì)氣體純度、允
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