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高純氮,分子式: N2 性質(zhì): 純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味的 惰性氣體。 相對(duì)密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點(diǎn)-195.8℃。熔點(diǎn)-209.9℃。 氮?dú)饧兓椒ㄖ饕?nbsp;吸附法、 變壓吸附法、 膜分離法等。在 集成電路、 半導(dǎo)體和電真空 器件制造中用作 保護(hù)氣和運(yùn) 載氣, 化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫 擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在 外延、 光刻、 清洗和 蒸發(fā)等 工序中,作為 置換、干燥、貯存和輸送用氣體。 顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中, 液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
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